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旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
4、雜音振動(dòng)----管路支撐不穩(wěn)，潤滑油混有氣體，產(chǎn)生汽蝕，軸承損壞，電動(dòng)機(jī)超載發(fā)熱運(yùn)行穩(wěn)固管路，提高吸入壓力排氣，降低真空度，更換軸承，調(diào)整按電動(dòng)機(jī)發(fā)熱方法排除5、電動(dòng)機(jī)發(fā)熱----流量多大，超載運(yùn)行，碰擦，電動(dòng)機(jī)軸承損壞，電壓不足，關(guān)小出口閥，檢查排除，更換軸承，穩(wěn)壓6、泵浦漏油----機(jī)械密封磨損，泵體有砂孔或po裂，密封面不平整，安裝螺栓松動(dòng)更換密封套件，修補(bǔ)泵浦，修正密封面端面，緊固螺栓。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
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分子泵的安裝位置在主軸承的前端,可以避免發(fā)生振動(dòng),同時(shí)保證了機(jī)器的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。分子泵的安裝位置與主軸承相似。機(jī)電設(shè)備檢測。1)電源分別是dca-5a、dca-5v。電源接地是a)輸入端電流不得超過1ma，不允許使用外部電源；b)接地線不得超過25v。a)輸出端電流不得超過1ma，不允許使用外部電源；b)接地線的接地線應(yīng)與主軸承相同。a.輸入端電流應(yīng)為dca-5v。b.輸出端電壓不得超過0v。c)接地線不得低于05v。d)接地線應(yīng)與主軸承相同。e)機(jī)器的外部電源和機(jī)械設(shè)備安裝在主軸承上?；け镁S修
從軸承特性上區(qū)分，分子泵大致可分為以下三類：
1.油潤滑分子泵
2.脂潤滑分子泵
3. 磁懸浮分子泵
油潤滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油潤滑。
現(xiàn)在大部分渦輪分子泵轉(zhuǎn)子都用油潤滑軸承。因?yàn)檫@種軸承在轉(zhuǎn)子的排氣側(cè)，所以油蒸汽不會(huì)到達(dá)渦輪分子泵的入口。化工泵維修
在工作壓強(qiáng)的高壓端，通過軸承的油流可用來散失掉氣體摩擦熱。在低壓下主要是油的摩擦本身造成轉(zhuǎn)子溫度。
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真空泵用的行業(yè)比較多，如醫(yī)院里的消毒柜、啤酒行業(yè)、罐裝飲料等地方。真空泵的形式比較多，一種是水環(huán)泵（以水位介質(zhì)循環(huán)的），另外一種是干泵，像螺桿泵、羅茨泵。水環(huán)泵也叫粗泵，因?yàn)樗鼘?duì)介質(zhì)的要求比較廣泛一些。像螺桿真空泵、羅茨泵，在電子行業(yè)用的比較多。阿爾卡特真空泵維修
分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。半導(dǎo)體的各種生產(chǎn)工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，因此對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。在半導(dǎo)體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應(yīng)用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、離子注入機(jī)等關(guān)鍵設(shè)備等。阿爾卡特真空泵維修
眾所周知，腐蝕是由于溶液里的酸性離子和堿性離子跟金屬發(fā)生反應(yīng)才造成的，溫度越高腐蝕的速率越快。一般的真空泵采用一些防腐材質(zhì)或是在轉(zhuǎn)子上做一些防腐涂層來延緩腐蝕速率。
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